TONiC™ エンコーダシリーズ
TONiC™ はコンパクトな非接触式インクリメンタルエンコーダシステムです。最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合、リニアおよびロータリシステムとしての最高分解能は 1nm です。リードヘッドに搭載した高度なフィルタリング機構によってジッタを低く抑えており、高い位置安定性とスムーズな速度制御を実現します。緻密な動作制御が求められる場面に理想的なエンコーダです。
また、低平均周期誤差による優れた信号の安定性を確保し、優れたモーションコントロール性能を実現します。リードヘッドにはセットアップ LED を搭載し、直感的かつ効率的に取り付けられます。
また、TONiC™ には、速度や分解能を柔軟に選択できるよう、幅広いインターフェースを用意しています。後半の工程で組み込む場合や外部インターフェースを使用する場合、エンドユーザー側でのカスタムに TONiC リードヘッド 1 個で柔軟に対応できます。
低ジッタによる機械の位置安定性
市場で高く評価されているフィルタリング機構と信号処理機能が組み込まれています。オートゲインコントロール (AGC) と オートオフセットコントロール (AOC) という機能によって、アナログ信号のノイズやリードヘッド内のデジタルジッタを低減します。ジッタ <±0.5nm RMS、周期誤差 <±30nm とそれぞれ極めて低く抑えられているため、位置精度が高く、リニアモータでの発熱量の低減に貢献します。
最高 1nm の高分解能
Ti インターフェース (オプション) との組合せ時で、分解能 1nm まで対応可能です。精密な速度と位置の制御が求められる場合、と組ん廷速域で求められる場合に理想的と言えます。
超高真空対応タイプと機能安全タイプ
TONiC™ は幅広い場面に対応できるエンコーダです。超高真空用の TONiC UHV、SiL2 や PLd の機能安全認証用の TONiC FS をご用意しています。
TONiC 用スケールのラインナップ
標準
リニア
スケールタイプ | スケール名 | 精度 | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | 長さ |
トラック選択式のステンレススチールテープ
| ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 10m (10m 超も対応可) | |
スリムステンレススチールテープスケール
| ±5µm/m | 20µm | 機材の熱膨張率と同じ (両端をエンドクランプで機材に固定時) | 最長 20m (20m 超も対応可) | |
ZeroMet スケール
| 1m まで±1µm、1m 超は±1µm/m | 20µm | 0.75±0.35µm/m/℃ | 最長 1.5m | |
ステンレススチールスケール
| ±1.5µm (1m 以下)、±2.25µm (2m 以下)、±3µm (3m 以下)、±4µm (5m 以下) | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 5m |
パーシャルアーク
スケールタイプ | スケール名 | 精度 | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | 長さ |
スリムステンレススチールテープ
| ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 20m (20m 超も対応可) |
ロータリ
スケールタイプ | スケール名 | 精度 (リング直径に依存) | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | リング直径 |
ステンレススチールリング  | 目盛精度: ±3.97～±0.38arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52～550mm | |
超高精度ステンレススチールリング  | REXM20、REXT20 | 取付け精度: (直径≥100mm)±1arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52～417mm |
超高真空
リニア
スケールタイプ | スケール名 | 精度 | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | 長さ |
トラック選択式のステンレススチールテープ
| ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 10m (10m 超も対応可) | |
スリムステンレススチールテープスケール
| ±5µm/m | 20µm | 機材の熱膨張率と同じ (両端をエンドクランプで機材に固定時) | 最長 20m (20m 超も対応可) | |
ZeroMet スケール
| 1m まで±1µm、1m 超は±1µm/m | 20µm | 0.75±0.35µm/m/℃ | 最長 1.5m | |
ステンレススチールスケール
| ±1.5µm (1m 以下)、±2.25µm (2m 以下)、±3µm (3m 以下)、±4µm (5m 以下) | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 5m |
ロータリ
スケールタイプ | スケール名 | 精度 (リング直径に依存) | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | リング直径 |
ステンレススチールリング | 目盛精度: ±3.97～±0.38arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52～550mm | |
超高精度ステンレススチールリング | 取付け精度: (直径≥100mm)±1arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52～417mm |
機能安全
リニア
スケールタイプ | スケール名 | 精度 | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | 長さ |
トラック選択式のステンレススチールテープ
| ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 10m (10m 超も対応可) | |
ZeroMet スケール
| 1m まで±1µm、1m 超は±1µm/m | 20µm | 0.75±0.35µm/m/℃ | 最長 1.5m | |
ステンレススチールスケール
| ±1.5µm (1m 以下)、±2.25µm (2m 以下)、±3µm (3m 以下)、±4µm (5m 以下) | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 5m |
ロータリ
スケールタイプ | スケール名 | 精度 (リング直径に依存) | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | リング直径 |
ステンレススチールリング | 目盛精度: ±3.97～±0.38arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52～550mm |